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高纯电子气体重大专项启动

  近日,由中昊光明化工研究设计院有限公司等6家国内电子气体从业单位共同承担的国家重大专项高纯电子气体研发与产业化项目日前正式启动。 
    该项目是《国家中长期科技发展规划纲要》确定的16个国家科技重大专项之一——极大规模集成电路制造装备及成套工艺课题的一部分,将重点开展8英寸以上IC制造用高纯电子气体关键共性技术研究,并实现产业化,为我国IC制造业提供高端电子气体。该项目的实施将极大提升光明院电子气体的研发与产业化能力。